2024-11-12 08:35企業

エキシマレーザーを米国に設置＝ギガフォトン〔ＢＷ〕

　【ビジネスワイヤ】半導体リソグラフィー用光源メーカーのギガフォトン（栃木県小山市）は、最先端半導体パッケージ加工向けエキシマレーザーを日本の装置メーカー向けに納入し、その装置が米国に設置されたと発表した。同社の最新ラインアップであるＧ３００Ｋは、半導体パッケージサブストレートの加工用装置に接続されるＫｒＦ（２４８ｎｍ）のエキシマレーザーであり、高出力、高繰り返し、高稼働率、長寿命を実現している。〈ＢＩＺＷ〉
　【注】この記事はビジネスワイヤ提供。原文はｗｗｗ．ｂｕｓｉｎｅｓｓｗｉｒｅ．ｃｏｍへ。