千歳市に拠点開設=ラピダスの半導体製造支援―ASML
オランダの半導体製造装置大手ASMLは11日、北海道千歳市に拠点を開設したことを明らかにした。次世代半導体の国産化を目指し、同市内に工場を建設中のラピダス(東京)に協力し、ASMLが世界で唯一製造している極端紫外線(EUV)露光装置の導入や保守点検を担う。
EUV露光装置は半導体回路の微細化に欠かせない。ASMLは10日にJR千歳駅直結のビル内に拠点を開設。最先端となる回路線幅2ナノメートル(ナノは10億分の1)の半導体の量産を目指すラピダスを支援する体制を整える。
[時事通信社]
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