GaNの300mm化に向けQST基板を開発=信越化学〔BW〕
【ビジネスワイヤ】信越化学工業〈4063〉は、GaN専用の成長基板であるQST基板の300mm(12インチ)化を実現し、このほどサンプル供給を開始したと発表した。今回の300mmQST基板の開発により、Si基板上では不可能であった反りやクラックのない厚膜の300mmGaNエピタキシャル成長が可能となり、デバイスコストを削減することができる。同社はこれまで150mm、200mmのQST基板の設備増強を進めてきたが、今後は300mmの量産化にも取り組む。
【注】この記事はビジネスワイヤ提供。原文はwww.businesswire.comへ。
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