ＧａＮの３００ｍｍ化に向けＱＳＴ基板を開発＝信越化学〔ＢＷ〕
【ビジネスワイヤ】信越化学工業〈４０６３〉は、ＧａＮ専用の成長基板であるＱＳＴ基板の３００ｍｍ（１２インチ）化を実現し、このほどサンプル供給を開始したと発表した。今回の３００ｍｍＱＳＴ基板の開発により、Ｓｉ基板上では不可能であった反りやクラックのない厚膜の３００ｍｍＧａＮエピタキシャル成長が可能となり、デバイスコストを削減することができる。同社はこれまで１５０ｍｍ、２００ｍｍのＱＳＴ基板の設備増強を進めてきたが、今後は３００ｍｍの量産化にも取り組む。
【注】この記事はビジネスワイヤ提供。原文はｗｗｗ．ｂｕｓｉｎｅｓｓｗｉｒｅ．ｃｏｍへ。
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